Umsókn um vél til að framleiða köfnunarefni í rafeindaiðnaði

Köfnunarefni er notað til umbúða, sintrunar, glæðingar, afoxunar, geymslu o.s.frv. á rafeindatækjum. Það er aðallega notað í iðnaði eins og bylgjulóðun, endurflæðislóðun, kristal-, piezoelektrískum, rafeindakeramík, rafeindakoparræmum, rafhlöðum, rafeindablöndum o.s.frv. Rafeindaiðnaðurinn hefur almennt miklar kröfur um köfnunarefni, venjulega 99.9% eða 99.99%, og meira en 99.99% köfnunarefni.

Í framleiðsluferli hálfleiðara og samþættra hringrása er köfnunarefni almennt notað til að vernda andrúmsloftið, þrífa, endurheimta efna og sem köfnunarefnisgjafi fyrir stórfelldar samþættar hringrásir, katóðugeislalampa fyrir litasjónvörp, sjónvarps- og segulbandsíhluti og vinnslu hálfleiðaraíhluta.

Í framleiðsluferli rafeinda- og hálfleiðaraíhluta er nauðsynlegt að nota ammoníakgas með hreinleika yfir 99.999% sem verndargas. Sem stendur hafa lönd notað hágæða köfnunarefni sem burðargas og verndargas í framleiðsluferlum á litmyndalampum fyrir sjónvarp, stórum samþættum hringrásum, fljótandi kristalla og hálfleiðara kísilþynnum.

Þegar loftið er þrýst út frá hreinsun og þurrkun, byggt á loftaflfræði, mun dreifingarhraði köfnunarefnis og súrefnis í loftinu í zeólít sameindasigti (ZMS) sveiflast á þrýstingi vegna aðsogs köfnunarefnis. Dreifingarhraði súrefnis í kolefnis sameindasigti á yfirborði er hærri en köfnunarefnis. Þegar aðsogið er ekki í jafnvægi frásogast súrefni í miklu magni af kolefnis sameindasigti og köfnunarefnið er einbeitt og auðgað í gasfasa til að ná fram aðskilnaði súrefnis og köfnunarefnis.